请输入关键词搜索相关内容

关闭搜索框
关闭搜索框

臭氧气体输送系统

臭氧气体输送系统,可产生超纯、可靠的臭氧气体。在清洁的半导体环境中,借助臭氧气体反应实现原子层沉积 (ALD) 和蚀刻 (ALE) 等薄膜沉积工艺。高纯度、高浓度臭氧气体能够产生更高的薄膜密度,从而提高产品产量、产品性能和可靠性。

  • 询价
  • 问专家

产品特点

臭氧浓度高

气体流量高

采用超纯发生技术

无氮气掺加技术

customer service

客户
服务

400-653-2616

  • 客服中心

    400-653-2616

  • 7×24全年无休服务

    2小时快速响应,

    24小时到达现场

  • 智能主动服务

    完善的客户服务档案,

    为您提供积极主动服务

  • 专家贴心服务

    我们与国内的臭氧运行及

    应用技术专家长效合作

  • 升级改造服务

    协同您对臭氧发生系统中

    相关设备进行升级改造

回到顶部